產品特性
采用白光共聚焦色差技術,可獲得納米級的分辨率
測量具有非破壞性,測量速度快,精度高
測量范圍廣,可測透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發、牙齒…);
尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面
不受樣品反射率的影響
不受環境光的影響
測量簡單,樣品無需特殊處理
Z方向,測量范圍大:為27mm
主要技術參數
掃描范圍:150mm×150mm(*大可選600mm*600mm)
掃描步長:0.1μm
掃描速度:20mm/s
Z方向測量范圍:27mm
方向測量分辨率:2nm
產品應用
MEMS、半導體材料、太陽能電池、醫療工程、制藥、生物材料,光學元件、陶瓷和先進材料的研發。
電話:021-33688380 傳真:021-33688619 郵編:200233 地址:上海徐匯區宜山路705號科技大廈A座501B室